x射線管產(chǎn)生入射x射線(一次x射線)，激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次x射線，并且不同的元素所放射出的二次x射線具有特定的能量特性或波長特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來的二次x射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的的產(chǎn)生與特性當(dāng)用高能電子束照射樣品時(shí)，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加速度會(huì)產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡(jiǎn)稱為連續(xù)潛或韌致輻射。另一方面，化學(xué)元素受到高能光子或粒子的照射，如內(nèi)層電子被激發(fā)，則當(dāng)外層電子躍遷時(shí)，就會(huì)放射出特征X射線。
用途：具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析f(9)～u(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。
X射線熒光光譜儀的測(cè)試步驟：
(1)選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數(shù)法、半基本參數(shù)法、經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數(shù)法測(cè)試。
(2)將制備好的樣片裝進(jìn)樣品杯，放入樣品交換器中，自動(dòng)進(jìn)樣至樣品室，X射線管發(fā)出原級(jí)X射線照射樣品，激發(fā)出待測(cè)元素的熒光X射線。
(3)樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測(cè)器測(cè)量各譜線的強(qiáng)度，根據(jù)選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測(cè)元素含量。
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